Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護功能，確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-12-11

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：783

服務(wù)熱線

021-51602552

立即咨詢

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的產(chǎn)品系列

氣體制冷機-PTLQ系列直冷型低溫制冷機-PTZL系列 chiller高精度冷熱循環(huán)器-PTS系列 chiller高精度換熱溫控單元-PHE系列精密冷水機-TLS系列小型高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng)-SMART系列高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng)-PTHC系列氣體冷凝回收機組-SCR&LCR系列

查看全部產(chǎn)品

相關(guān)文章

排內(nèi)冷卻液分配單元的冷切方式特點

與其他冷卻設(shè)備相比，恒溫恒流恒壓冷水機更具優(yōu)勢

普泰克-半導(dǎo)體溫度設(shè)備行業(yè)標準

高低溫一體循環(huán)機是實現(xiàn)能源高效利用的未來之路

高低溫循環(huán)裝置操作規(guī)程

產(chǎn)品介紹

Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。主要部件均采用國際的品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護功能，確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

chiller高精度換熱溫控單元-PHE系列_01.jpg