Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。

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更新時間：2025-12-11

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導體工業(yè)領域的產(chǎn)品系列

氣體制冷機-PTLQ系列直冷型低溫制冷機-PTZL系列 chiller高精度冷熱循環(huán)器-PTS系列 chiller高精度換熱溫控單元-PHE系列精密冷水機-TLS系列小型高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng)-SMART系列高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng)-PTHC系列氣體冷凝回收機組-SCR&LCR系列

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產(chǎn)品介紹

Chiller高精度冷熱循環(huán)器PTS系列產(chǎn)品，可實現(xiàn)對設備出口溫度的精準控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應用于半導體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領域，激光、醫(yī)療和精密實驗室溫控方案。全系列采用全直流變頻壓縮機，磁力耦合泵，電子膨脹閥節(jié)流裝置，西門子控制器，壓縮機及主要制冷部件均采用國際的品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成?？刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。

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